Bayard-Alpert热阴极离子真空规
BA600Bayard-Alpert(热阴极)规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极(阳极)加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下,压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度(压力)相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的,热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极发射的电子与栅极及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因,仅有一小部分发射的X射线会被收集极收集。当X射线碰撞收集极丝时,收集极上会有光电子发射。X射线电流限制了压力测量范围,使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围,取决于规管型号。早期的规管在栅极外有个柱状收集极,这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电发射时,X射线极限就决定了规管小压力测量值。
电极被碳氢化合物污染后会使X射线极限增加,这是因为在X射线轰击下污染表面会放出更多的二次电子。这种污染通常可以通过电极除气来消除。
BA600
BA601
BA602
BA603
技术规格
型号 | BA600 | BA601 | BA602 | BA603 |
测量范围 | 10-9Torr至5*10-2Torr | 2*10-11Torr至10-3Torr | 4*10-10至10-3Torr | |
精度-N2(典型值) | ±15% | ±20% | ||
X射线极限 | 5*10-10Torr | 2*10-11Torr | 4*10-10Torr | |
灵敏度-N2 | 10/Torr | 25/Torr | ||
电子轰击除气EB | 3W | 40W | 100W,通常70W | 100W |
焦耳除气I2R | 不适用 | 10A时,6.5至7.3Vac | ||
阴极-加热电流 | 2.0-2.5A | 2.5-3.5A | 4-6A | |
阴极-加热电压 | 1.5-2V | 3-5V | ||
阴极-电压 | +30Vdc | |||
收集极电压 | 0V | |||
栅极电压 | +180Vdc | |||
烘烤 | 200℃ | 450℃ | ||
收集极 | 0.01英寸直径,钨丝 | 0.005英寸直径,钨丝 | ||
阴极 | 双氧化钇涂层铱 | 双钨丝或双铱丝,可更换 | 铱丝,可更换 | 双钨丝或单根铱丝 |
栅极 | 蚀刻不锈钢 | 难熔金属 | ||
全长 | Max96mm | 105mm | 152mm | |
插入长度 | 无 | 76mm | ||
外壳 | 裸规,CF35法兰 | Nonex7220玻璃 | ||
安装方向 | 任意 | 任意,垂直优先 |