BAG402热电离真空计

BAG402热电离真空计

INFICON Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。

特点

测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2Torr）

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出的重复性

超压检测保护丝极，防止过早烧毁

双长使用寿命氧化钇铱丝

自动发射电流选择降低了控制复杂性

传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

符合 RoHS 标准

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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