SQM-160 薄膜沉积监控器
更新:2025-01-29 11:08 编号:11505544 发布IP:106.122.242.243 浏览:108次- 发布企业
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详细介绍
SQM-160薄膜沉积监控器
SQM-160 使用成熟的 INFICON石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料,在大型系统中平均分配以实现的沉积控制,或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器,从而延长传感器的使用寿命。速率显示为0.1Å/s 或 0.01Å/s,用户可自行选择。还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入,SQM-160可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数
特点
两个标准测量通道,四个可选
模拟输出便于记录速率/厚度
高分辨率选件:0.03 Hz,10 读数/秒
RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网
技术规格
型号 | SQM160标准分辨率 | SQM160高分辨率 | |
QCM输入 | 2(可选4) | ||
测量频率范围 | 可调: 1.0 MHz低 6.5 MHz高 | ||
频率分辨率 0.1s测量间隔 | ± 0.30Hz | ± 0.03Hz | |
厚度和速率分辨率/测量 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6赫兹,0.1秒测量间隔 | ±0.37 Å | ±0.037 Å | |
频率稳定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
测量周期 | 0.10至2s(可调) | ||
控制 存储膜系 模拟输出 数字输入/输出 | 99 2个0-5V直流,速率和膜厚 2个输入,四个继电器输出 | ||
电气接口 | RS232标准(USB、以太网口可选) | ||
电源电压 | 100-240VAC,20W | ||
标准 | CE,RoHS |
订购资料
成立日期 | 2018年03月19日 | ||
法定代表人 | 石进良 | ||
注册资本 | 100 | ||
主营产品 | 主营业务:显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯 | ||
经营范围 | 五金产品批发;电气设备批发;计算机、软件及辅助设备批发;通讯及广播电视设备批发;非金属矿及制品批发(不含危险化学品和监控化学品);金属及金属矿批发(不含危险化学品和监控化学品);建材批发;化肥批发;其他化工产品批发(不含危险化学品和监控化学品);贸易代理;其他贸易经纪与代理;经营各类商品和技术的进出口(不另附进出口商品目录),但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外;纺织品、针织品及原料批发;服装批发;鞋帽批发;化妆品及卫生用品批发;厨房、卫生间用具及日用杂货批发;灯具、装饰物品批发;家用电器批发;汽车零配件零售;摩托车零配件零售;机动车燃料零售(不含成品油、车用燃气和其他危险化学品);家用视听设备零售;日用家电设备零售;计算机、软件及辅助设备零售;通信设备零售;其他电子产品零售;五金零售;灯具零售。 | ||
公司简介 | 主营业务:显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘,德国DMT粉尘,美国AATCC测试用,英国SDC,JAMESH,日本测试用品,理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC60312标准的试验粉尘。同时,公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。满足国内汽车零 ... |
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