SQM-160薄膜沉积监控器
SQM-160 使用成熟的 INFICON石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数
特点
两个标准测量通道，四个可选
模拟输出便于记录速率/厚度
高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒
RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
技术规格
| 型号 | SQM160标准分辨率 | SQM160高分辨率 | |
| QCM输入 | 2（可选4） | ||
| 测量频率范围 | 可调: 1.0 MHz低 6.5 MHz高 | ||
| 频率分辨率 0.1s测量间隔 | ± 0.30Hz | ± 0.03Hz | |
| 厚度和速率分辨率/测量 工具/密度 = 100/1，基础频率 = 6赫兹，0.1秒测量间隔 | ±0.37 Å | ±0.037 Å | |
| 频率稳定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
| 测量周期 | 0.10至2s（可调） | ||
| 控制 存储膜系 模拟输出 数字输入/输出 | 99 2个0-5V直流,速率和膜厚 2个输入，四个继电器输出 | ||
| 电气接口 | RS232标准（USB、以太网口可选） | ||
| 电源电压 | 100-240VAC，20W | ||
| 标准 | CE，RoHS | ||
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