Hicube泵组
Hicube 系列移动式真空泵组在业界设立了新的标准:新系列的HiPace涡轮分子泵和根据客户应用需求可选的前级泵系列完美结合。 Hicube 真空泵组系列主要分为Hicube ECO(经济型)、Hicube Classic、HicubePro三种真空泵组。真空泵组可选择干泵或旋片泵作为前级泵,极限真空度可达 5 *10-10mbar。针对特别有限的空间要求,Hicube 真空泵组中还特别提供尺寸非常紧凑的HicubeEco经济型泵组,其抽速范围从 35 l/s 至 67 l/s。
根据HiPace 涡轮分子泵选择的不同,HiCube真空泵组还可以分为HiCube 80真空泵组系列、HiCube300真空泵组系列、HiCube 400真空泵组系列、HiCube 700真空泵组系列。
特点
涡轮分子泵和前级泵的完美结合;适合多种应用需求;
模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求;各部件配合简便,易于保养维修;
集成的驱动系统,无需额外的控制系统;“即插即用”-无需布线和安装;
意外断电时,前级真空安全阀(可选.)可保护真空腔体免受返流影响;
可以直接连接真空计
应用
研发
加速器
分析和表面物理学
真空工艺技术
一般真空应用
技术规格
参数 型号 | 连接法兰 | 抽速L/S | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | |||||||||||||||||||||
入口 | N2 | ||||||||||||||||||||||||
Hicube 80 Eco | KF40 | 35 | 10-7 | 15L/min | ISO-K 63 | 67 | 15/min | CF63 | |||||||||||||||||
HicubeClassic | 法兰连接 | 极限真空mbar | 前级泵抽速m3/h | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | ||||||||||||||
Hicube 80 Classic | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | |||||||||||||||||
Hicube 300 Classic | ISO-K100 | 260 | CF100 | ||||||||||||||||||||||
Hicube 400 Classic | 355 | ||||||||||||||||||||||||
Hicube 700 Classic | ISO-K160 | 685 | CF160 | ||||||||||||||||||||||
HicubePro | 法兰连接 | ACP | Duo | Pascal | ACP | Duo | Pascal | ||||||||||||||||||
Hicube 80 Pro | 14/27 | 9/20 | 9/18 | 5*10-10 | |||||||||||||||||||||
Hicube 300 Pro | |||||||||||||||||||||||||
Hicube 400 Pro | |||||||||||||||||||||||||
Hicube 700 Pro |