压力不敏感型质量流量控制器Maru 7000 PI
更新：2025-02-03 11:08 编号：11509533 发布IP：106.122.242.243 浏览：79次
- 发布企业
- 厦门良厦贸易有限公司商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第7年主体名称：厦门良厦贸易有限公司组织机构代码：91350206MA31JFKEXH
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- 关键词
- 压力不敏感型质量流量控制器Maru 7000 PI
- 所在地
- 中国（福建）自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号（注册地址）
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- 销售
- 石进良 请说明来自顺企网，优惠更多
详细介绍
压力不敏感型质量流量控制器
Maru 7000PI是压力不敏感型质量流量控制器，高性能数字控制回路可以实时控制和诊断流量，金属密封，通过EP抛光处理，耐腐蚀性强；压力传感器及控制回路的改善算法，响应速度、精度、重复性等性能提高，适用于严苛洁净的半导体行业（Semiconductor）。
特点
SEMI注册，三星电子Common SPEC
供给压力波动时也可以稳定的控制流量
快速响应和高精度
模拟与数字通讯都支持
流量、温度、压力、Mac ID、通讯速度等本体显示
MGMR功能（Multi Gas Range）
EP处理和金属密封，抗腐蚀性能
技术规格
| 型号 | Maru 7000 PI | ||||
| 流量范围（N2基准） | 5sccm~50slm | ||||
| 流量控制范围 | 2 ~ 满量程 | ||||
| 精度 | ≤±1%读数（30~量程） ≤±0.35%满量程（5~35%量程） | ||||
| 响应速度 | ≤1秒（≤SEMI标准） | ||||
| 重复性 | ≤0.2%满量程 | ||||
| 压力不敏感 | ≤±2%满量程 上/下浮动5psi/秒 | ||||
| 零点稳定性 | ＜±0.5%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 泄漏率 | ＜1 × 10E-11Pa·m³/秒（He） | ||||
| 工作压力 | 50-300KPa | ||||
| 工作压力 | 450KPa | ||||
| 阀门类型 | 常闭阀 | ||||
| 阀门关闭 | ＜1%满量程 | ||||
| 密封种类 | 金属密封 | ||||
| 材质及抛光 | STS-316L,0.1uM Ra | ||||
| 电气连接及信号 | 模拟：0-5VDC或4-20mA（15针D-Sub公头） 数字：RS485（15针D-Sub公头） DeviceNet协议（专用接口） | ||||
| 电源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作温度 | 操作温度：10-50℃（推荐15~35℃） | ||||
| 预热时间 | 30分钟（准确度保证：60分钟） | ||||
| 法兰连接 | 1/4"LOK或VCR（根据型号） | ||||
| 成立日期 | 2018年03月19日 | ||
| 法定代表人 | 石进良 | ||
| 注册资本 | 100 | ||
| 主营产品 | 主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘，日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯 | ||
| 经营范围 | 五金产品批发；电气设备批发；计算机、软件及辅助设备批发；通讯及广播电视设备批发；非金属矿及制品批发（不含危险化学品和监控化学品）；金属及金属矿批发（不含危险化学品和监控化学品）；建材批发；化肥批发；其他化工产品批发（不含危险化学品和监控化学品）；贸易代理；其他贸易经纪与代理；经营各类商品和技术的进出口（不另附进出口商品目录），但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外；纺织品、针织品及原料批发；服装批发；鞋帽批发；化妆品及卫生用品批发；厨房、卫生间用具及日用杂货批发；灯具、装饰物品批发；家用电器批发；汽车零配件零售；摩托车零配件零售；机动车燃料零售（不含成品油、车用燃气和其他危险化学品）；家用视听设备零售；日用家电设备零售；计算机、软件及辅助设备零售；通信设备零售；其他电子产品零售；五金零售；灯具零售。 | ||
| 公司简介 | 主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂美国PTI粉尘，日本JIS粉尘，德国DMT粉尘，美国AATCC测试用，英国SDC,JAMESH,日本测试用品，理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC60312标准的试验粉尘。同时，公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。满足国内汽车零 ... | ||
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