GMC1200流量/压力控制器
更新：2025-01-24 11:08 编号：11532130 发布IP：117.30.218.60 浏览：99次
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- 厦门良厦贸易有限公司商铺
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- GMC1200流量/压力控制器
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详细介绍
GMC1200流量/压力控制器
GMC1200流量压力控制器是给MFC(质量流量控制器)提供电源(±15VDC),流量显示,稳定的电压设置点(0 ~5VDC),使MFC能够准确地成为控制的装置。也可以用电容压力计代替MFC对压力进行显示。(0 - 10VDC压力信号),如果你添加上游压力控制板作为选择选项,则可以另加压力控制模式,在连接各通道的MFC中,任意选择想要的通道,用气体的量可以自动控制想要的压力,压力也可以显示。
通过微处理器进行“控制”处理,还可以利用rs - 232接口进行“PC控制”操作。
特点
采用超高速微处理器。
使用(±电压显示)16位双A / D控制
容易辨认的LCD显示。
流量或压力的单位，用户可以直接设置。
2、4、6、8通道可选。
您可以通过连接电容压力计测定压力。
每个频道的流量都可以控制。
总流量累计功能
使用MFC与电容压力计,可选上游压力控制
技术规格
| 尺寸 | 宽*长*高 241mm*88mm*200mm |
| 电气特性 | |
| 输入功率 | 195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA 默认 98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可选 |
| 熔断器额定值 | 250 VAC @3 A |
| 输出功率 | +/-15VDC ±5% @2.7A |
| 工作温度 | 0 ~ 50°c |
| 输入信号 | 0 ~ 5VDC for MFC 0 ~ 10VDC for 电容式压力计 |
| 输出信号 | 0 ~ 5VDC for MFC 指令 |
| 显示窗口 | 128*64 LCD显示器 |
| 显示单位 | sccm, slm表示MFC, Torr表示CM |
| 接口 | RS - 232、TTL接口 |
质量流量控制器
MFC是“质量流量控制器”的缩写,气瓶上出来的气体，用户有时所需的是一定流量的值。每个制造厂商都有一些差距,但一般都采用SCCM(标准立方厘米/分钟)。
特点
设计用于半导体制程和工业使用
满量程流量从5sccm至200slm
1%满量程的精度
可搭配GMC1200仪表显示，也可用于APC200、GPC3000等仪表组成压力控制系统
技术规格
流量范围（满量程） | AFC500/AFC600：5sccm至50slm AFC770：51至200slm |
进气压力高可达 | 150psig |
正常工作压差（与在大气压，MFC出口） 10至5000sccm 10000至20000sccm AFC770 | 10至40 psid 15至40psid 40至70psid |
精度（模拟量） (包括760Torr和0℃下的非线性、滞后和非重复性) | ±1%满量程 |
重复性 | ±0.2%满量程 |
分辨率 | 1%满量程 |
温度系数 零点 跨度 | <0.05 % 满量程./°C <0.05 % 满量程. |
预热时间（达到稳态性能的0.2%以内） | ＜2分钟 |
控制器调节时间 | ＜2sec |
压力系数 | <0.02 % of Rdg./psi |
工作温度范围 | 0-50℃ |
电源 | ±15 VDC (±5%) |
设定值命令信号 | 0-5Vdc |
输出信号 | |
法兰 | VCR, LOK |
接口 | 9针D-sub |
材料 | 316L，密封Viton（AFC600：Kalrez） |
外部泄漏完整性(scc/sec He) 通过关闭阀门 | < 1×10（-9） <1.0%的F.S.，在40 psig的大气入口（为确保无流量通过，建议使用单独的正压切断阀。） |
| 成立日期 | 2018年03月19日 | ||
| 法定代表人 | 石进良 | ||
| 注册资本 | 100 | ||
| 主营产品 | 主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘，日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯 | ||
| 经营范围 | 五金产品批发；电气设备批发；计算机、软件及辅助设备批发；通讯及广播电视设备批发；非金属矿及制品批发（不含危险化学品和监控化学品）；金属及金属矿批发（不含危险化学品和监控化学品）；建材批发；化肥批发；其他化工产品批发（不含危险化学品和监控化学品）；贸易代理；其他贸易经纪与代理；经营各类商品和技术的进出口（不另附进出口商品目录），但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外；纺织品、针织品及原料批发；服装批发；鞋帽批发；化妆品及卫生用品批发；厨房、卫生间用具及日用杂货批发；灯具、装饰物品批发；家用电器批发；汽车零配件零售；摩托车零配件零售；机动车燃料零售（不含成品油、车用燃气和其他危险化学品）；家用视听设备零售；日用家电设备零售；计算机、软件及辅助设备零售；通信设备零售；其他电子产品零售；五金零售；灯具零售。 | ||
| 公司简介 | 主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂美国PTI粉尘，日本JIS粉尘，德国DMT粉尘，美国AATCC测试用，英国SDC,JAMESH,日本测试用品，理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC60312标准的试验粉尘。同时，公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。满足国内汽车零 ... | ||
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