洁净室设计的**步骤

一、评估人员/物料流动的布局
洁净室工作人员是洁净室*大的污染源，所有关键工序应与人员出入门和通道隔离。*关键的空间应该具有单一的访问权限，以防止空间成为通向其他非关键空间的通道。
二、确定空间清洁度分类
环境科学技术研究所标准14644-1提供了不同的洁净度等级(1、10、 100、 1000、 10000、100000)和不同粒径颗粒的允许数量。
三、确定空间增压
保持一个积极的空气空间压力，与相邻的更脏的清洁分类空间，至关重要的防止污染物渗入洁净室。当一个空间有中性或负空间增压时，很难持续保持空间的清洁分类。
四、确定空间供给气流
空间清洁度分类是确定洁净室供气流量的主要变量。净室的换气率应考虑到洁净室内的预期活动。
五、确定空间空气出水流量
大部分洁净室处于正压状态，导致通风进入相邻静压较低的空间，并通过电源插座、灯具、窗框、门框、墙/地板界面、墙/天花板界面、检修门进行计划外通风。
六、确定空间空气平衡
空间空气平衡是将所有的气流加到空间中(供给、渗透)和所有离开空间的气流(排气、过滤、回流)相等。
七、评估剩余变量
其他需要评估的变包括:
1、温度:洁净室的工作人员在他们的常规衣服外面穿工作服或全兔服，以减少颗粒物的产生和潜在的污染。
2、湿度:由于洁净室的气流较大，产生了较大的静电电荷。重要的是保持空间相对湿度足够高，以减少静电电荷积聚。
3、层流:非常关键的过程可能需要层流来减少污染物进入HEPA过滤器和过程之间的气流的机会。
4、静电放电:除空间加湿外，有些I艺对静电放电损伤非常敏感，需要安装接地导电地板。
八、确定机械系统布局
许多变量影响洁净室的机械系统布局:空间可用性、可用资金、过程要求、清洁度分类、要求的可靠性、能源成本、建筑规范和当地气候。
九、进行加热/冷却计算
洁净室加热/冷却计算时，请考虑以下因素:
使用*保守的气候条件(99.6%的供暖设计， 0.4%的湿球/中位数湿球温度设计，0.4%的湿球温度/中位数湿球温度设计数据)。包括过滤成计算。
十、争取机械空间
洁净室是机械和电力密集型的。随着洁净室的清洁度分类越来越清晰，需要更多的机械基础设施空间来为洁净室提供足够的支持。