INFICON Quantus LP100气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感，或要求进行终点检测。Quantus LP100是一种气体分析仪，专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化，以大限度地减少报废，提高产出。
功能
方便的现场可更换等离子单元
使用标准 KF25 连接件方便地安装
更低的维护成本
低至 ppm 级的出色检测下限
工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
长期的可靠性：不需要泵
低拥有成本
快速的 10 Hz 采样频率
精致小巧：（高 x 宽 x 长）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持
技术规格
| Operating pressure | 0.01 to 1 Torr (application dependent) |
| Spectrometer performance | 200 to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scaleresolution, 2048 pixels |
| Detection limit | To low ppm levels (application dependent) |
| Exposure time | Minimum of 1 ms |
| Vacuum fitting | KF25 |
瑞士INFICON分析仪产品优势
仪器将简单且经济高效的入口系统与经过现场验证的离子源和泵组相结合，提供低风险和高回报的气体分析解决方案。适用于一般真空和工业应用，TranspectorSPS是真空电弧重熔(VAR)等冶金和热处理应用的成熟解决方案。TranspectorSPS是可配置的，可以根据特定应用和预算进行定制。对于从1E-4Torr到大气压的采样过程压力，可选择标准孔板、毛细管和旁路管线组合。耐腐蚀的入口、离子源和泵组件专为在蚀刻、CVD、ALD和其他腐蚀性气体工艺中的生存而设计。
6、瑞士INFICON分析仪部分产品型号
①瑞士INFICONTranspectorMPH
②瑞士INFICONTranspector MPS
③瑞士INFICONTranspectorXPR 3+
④瑞士INFICONTranspectorCPM 3
⑤瑞士INFICONTranspectorSPS
⑥瑞士INFICONTranspectorCPM
⑦瑞士INFICONQMG 700
⑧瑞士INFICONInficon Quantus LP100
