生产厂商:Allresist
产地:德国
光刻胶根据PMMA分子量大小区分型号。分子量越小,对电子束越敏感,光刻精度越高。
对于金属沉积等工艺,常用双层旋胶,形成钻刻结构,便于金属剥离。
注意事项:PMMA电子束光刻胶不与紫外光,可见光反应,且性质稳定,建议常温保存。如低温保存,请勿在光刻胶处于低温状态下暴露于空气,避免水蒸气冷凝,污染光刻胶。
产品编号 | 产品名称 | 规格包装 | 价格 |
HDT0701 | 电子束光刻胶(共聚PMMA/MA) | 瓶/250mL | |
HDT0702 | 电子束光刻胶(PMMA 50K) | 瓶/250mL | |
HDT0703 | 电子束光刻胶(PMMA 200K) | 瓶/250mL | |
HDT0704 | 电子束光刻胶(PMMA 600K) | 瓶/250mL | |
HDT0705 | 电子束光刻胶(PMMA 950K) | 瓶/250mL |