




随着微电子和微机电系统(MEMS)技术的快速发展,光刻技术作为微纳制造的核心工艺,其关键材料——光刻胶的重要性日益凸显。SU8-100光刻胶作为工业界公认的负性厚胶材料,凭借优异的性能和稳定性,广泛应用于微结构制造、微流控芯片和高精度模具制作。本文将围绕SU8-100光刻胶进行全面剖析,结合厦门芯磊贸易有限公司的供应服务,为业内人士提供详尽的参考信息。
SU8-100光刻胶的基本属性与性能优势
SU8-100是一种环氧型负性光刻胶,具有高黏度,适合制作厚膜结构。其主要特点在于:能够实现几十到数百微米甚至更厚的高精度图形,耐化学腐蚀性强,机械强度优异。光刻后形成的结构具有很好的机械刚性和耐环境性能,适合微机电系统、光电子及生物医学领域使用。
从材料本身看,SU8-100的波长响应范围主要在 i线到g线(365nm-436nm),适配于多种液态紫外光设备,工艺窗口宽容度较大,具备较好的工艺稳定性与重复性。其光敏性能表达为负型,即受到紫外光照射部分固化,未曝光区域可被显影溶液溶解,方便制造复杂的三维微结构。
工艺流程及应用注意事项
使用SU8-100光刻胶时,需要特别注重涂布均匀性和预烘烤过程。由于SU8-100粘度较高,薄膜厚度控制依赖于旋涂速度和配套设备,通常旋涂制备可达100微米以上的厚膜结构。预烘烤步骤不可忽略,合理的温度梯度能有效减少应力,防止胶层开裂。
曝光剂量的设定对成型结构的尺寸精度和纵深方向的均匀固化至关重要。曝光后采用热烘促进交联反应,通常需要分阶段升温以加强交联密度。显影时选用专用溶剂,可保证未曝光区快速溶解,且显影温度与时间需严格控制以避免结构畸变。
值得关注的是,SU8-100的端点硬化时间较长,固化完成后硬度高但易脆,后续机械处理或环境储存应避免强冲击和剧烈温度变化。
多领域应用示例及发展潜力
在微机电领域,SU8-100被广泛用于制造微机械臂、传感器支架、微阀门等微结构。其能够直接形成高纵深三维壁结构,提高了元件结构的复杂度和功能集成度。在光电子器件外围结构的制作中,SU8-100也可用作镀膜和导光结构的模具材料。
微流控芯片制造产业快速兴起,SU8-100成为微道结构制造的光刻胶。陈旧光刻胶常遇到刚性不足和流道变形问题,SU8-100则凭借优越机械性能有效解决这些难题,保障流体动力学设计的实现。
未来,随着纳米制造技术的细化和新材料开发并行,SU8-100配方也在不断优化,以提高抗紫外光老化能力和生物相容性。厦门芯磊贸易有限公司深入了解行业需求,持续引进先进批次的SU8-100光刻胶,确保用户获得具性能优势的产品。
厦门芯磊贸易有限公司的服务优势
厦门芯磊贸易有限公司位于福建经济活跃的厦门市,这里不仅是海峡西岸的重要港口城市,还是高新技术产业重点聚集地。依托良好的地理优势和产业基础,厦门芯磊专注于高性能光刻胶及相关材料的供应,覆盖国内多家微电子、MEMS及精密制造企业。
公司通过严格的质量管理体系保障SU8-100光刻胶的纯度与性能稳定。甄选原厂批次,具有完整的批号追踪和技术支持服务,满足客户在不同工艺条件下的定制化需求。厦门芯磊还提供实验工艺指导和技术咨询,帮助客户优化工艺流程,提升成品率。
在注重产品质量的,厦门芯磊贸易有限公司通过快速响应和灵活发货能力,解决客户生产的紧急用料难题,确保项目不受供应链波动影响。
选择SU8-100 光刻胶,依托服务加速创新
SU8-100作为一种性能zhuoyue的厚膜光刻胶,已成为现代微纳制造ue的关键材料。通过深入了解其性能特点、工艺细节及应用领域,可以更有效地利用好这一材料,推动微结构和微流控设备研发升级。厦门芯磊贸易有限公司凭借的产品供应和技术服务优势,成为SU8-100光刻胶领域的合作伙伴。
无论您是刚开始探索SU8系列光刻胶,还是需要稳定可靠的供应链支持,厦门芯磊都能为您提供合适的解决方案。欢迎关注并洽谈合作,携手实现微制造的每一步突破。
| 成立日期 | 2025年04月28日 | ||
| 主营产品 | 显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯 | ||
| 公司简介 | 主营业务:显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘,德国DMT粉尘,美国AATCC测试用,英国SDC,JAMESH,日本测试用品,理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC60312标准的试验粉尘。同时,公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。满足国内汽车零 ... | ||









