Edwards新的Passive gauge真空规和控制器

Passive Gauge

Edwards新的Passive gauge真空规和控制器，专门补充目前EdwardsActive真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案，从超高真空系统到加工工业，或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。

EdwardsPassive系列真空规包括皮拉尼规，潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计，可以测量大气至10-12mbar超宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用，显示压力，并为用户提供直观的界面，以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器，PGC201支持测量从10-9至1000mbar的压力范围，连接皮拉尼和潘宁真空规；以及范围更广的PGC202，测量10-12至1000mbar，连接皮拉尼和离子测量计。

皮拉尼规管

PRG20K–NW16 AI

铝制传感器单元与钨丝

改进的温度补偿

PRG20K–DN16CF SS

钨丝和不锈钢传感器单元

耐过压

PRG20KCR–NW16 SS

铂丝与不锈钢传感器单元、陶瓷馈通件

非常适合于腐蚀性过程和水蒸气环境

特点

测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)

钨丝或铂丝的选项

0至+40℃温度补偿

恒定灯丝温度

技术规格

型号

PRG20K–NW16 AI

PRG20K–DN16CF SS

测量范围

5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)

工作温度范围
(补偿)

0至+40℃

大环境温度

80℃

灯丝

钨丝

灯丝温度

110℃

大耐压

3bar

10bar

体积

约11cm3

法兰

NW16

CF16

接触材质

铝,Vacon、玻璃、

钨，CrNi 8020镀镍

钢铁、环氧胶粘剂

不锈钢,Vacon,

钨，CrNi 8020陶瓷，

氧化铝、镍铁42

兼容的控制器

PGC201/PGC202

潘宁规管

CPG35K-NW25

CPG35K-NW40

CPG35K-DN40CF

CPG35KB-DN40CF

坚固耐用

对暴露大气和振动环境不敏感

易于拆卸和清洗

可更换的阴极板

优化的阴极点火特性

型号

CPG35K

CPG35KB

测量范围

1 x 10-9 至 10-2mbar ( 0.75 x 10-9 至 10-2 Torr)

高压电源(阳极电位)
触发电压
操作电压

3.3Kv

1.6Kv

存储温度

-25℃ 至 +80℃

额定工作温度

0至+80℃

烘烤温度（法兰处）

200℃

大耐压

6bar

体积

约21cm3

接触材质

不锈钢、镍铬合金、

陶瓷、钛

法兰

NW25/NW40/CF40

CF40

兼容控制器

PGC201

离子规

IG40 BA

测量范围从10-2至2 x 10-11 mbar (1.5 x 10-11 Torr)

焊接防护罩

IG40 EX

测量范围从10-4至2 x 10-12 mbar (1.5 x 10-12 Torr)

X射线和离子脱附效应的显著降低

特点

Bayard-Alpert和Extractor离子计中的可更换灯丝

高精度的测量由于单独校准的传感系统

型号       

IG40BA

IG40EX

测量范围

10-2至2 x 10-11 mbar (1.5 x 10-11 Torr)

10-4至2 x 10-12 mbar (1.5 x 10-12 Torr)

X射线极限

≤10-11Torr

≤10-12Torr

运行环境温度

+20至+80℃

大烘烤法兰温度
带测量电缆

250℃

大烘烤温度
未连接

400℃

接触材质

氧化钇铱涂层

Pt/Ir 90/10 Mo/ Pt绕丝

钨

氧化钇铱涂层

Mo和CoNiCr

钨

镍铁

操作特征
离子探测器电位
阴极电位
阳极电位
反射器电位

0

80

220

0

100

220

205

法兰

CF40

发射电流

0.1至10mA

1.6mA

热阴极的加热电流

1.5A

1.5A

热阴极的加热电压

3V

3.7V

灵敏度N2

17/mbar

6.25/mbar

烘烤操作，电子轰击（V/mA）

480/90

480/45

兼容的控制器

PGC202

PGC真空计控制器

PGC201皮拉尼规和潘宁规控制器

PGC202皮拉尼规和离子计控制器

EdwardsPGC201控制器提供从10-9和1000mbar之间的压力范围测量，结合两个测量原理从PRG和CPG真空规。PGC202结合了PRG真空规和IG40BA或IG40 EX离子计，用于测量10-12 mbar至1000mbar范围内的真空度。两个控制器都需要连接的规管提供测量和控制功能。

紧凑的3通道操作单元，用于连接Passive gauge测量真空范围

PGC201：10-9到1000mbar

PGC202：10-12至1000mbar

皮拉尼规管和潘宁规管（PGC201）；皮拉尼和UHV、BA离子计（PGC202）自动切换

测量线缆长支持50M

每通道两个设定点继电器

对数图表记录器输出0- 10v或2- 10v

宽范围电源供应100 - 240伏

压力单位可在mbar, Torr和Pascal之间选择

结构紧凑、坚固耐用的Penning (CPG)传感器，对高压操作不敏感

校准和温度补偿的Pirani (PRG)传感器

的传感器和灯丝更换组件

每个通道的错误信息反馈，例如在灯丝断裂、传感器线路故障或等离子放电故障的情况

紧凑的金属台式外壳

易于操作的界面

RS232接口

CE标志

RoHS认证

应用

高真空泵系统的通用真空测量: 涡轮分子泵、扩散泵、低温泵、离子泵系统等。

退火、熔化、钎焊和硬化炉

涂层系统

分析仪器

热辐射和脱气环境

粒子加速器

型号

PGC201

PGC202

测量通道

3

测量范围

1、2通道

3通道

5 x 10-4至1000 mbar (3.5 x 10-4至750 Torr)

10-9到1000mbar

IG40BA：2 x 10-11 mbar

IG40EX：2 x 10-12 mbar

准确性
PRG
CPG
IG40BA/IG40EX

≤实测值的20%

≤实测值的±30%

≤实测值的±2%

线缆

50米

显示

数字显示，7段LED，

4位尾数和2位指数

气体类型

系数可调

设定点继电器

每通道2个，间隔触发

可调开关阀值
PRG
CPG
IG40BA
IG40EX

5 x 10-3 至 500mbar

1 x 10-8 至9.9 x 10-3mbar

1 x 10-8 至 5 x 10-3mbar

1 x 10-11mbar

继电器切换滞后

10%的触发值(默认值)，

可自由调节PRG和CPG

10%的触发值(默认值)，可自由调节

PRG和IG40 BA或EX

继电器触点额定负载

a.c./d.c., max. 30 V/1 A

Chart recorder output (default)
PRG

0到10v, log。线性划分:3个数量级，

如果出现故障，请按10.5伏，

对数的:(1 x 10-3毫巴)，1.67 V/ 数量级

CPG

对数的:(1 x 10-9毫巴)，1.43 V/ 数量级

IG40BA/EX

对数的:(1 x 10-12毫巴)，1.00 V/数量级

远程接口

RS232/RS485

电源要求

100-240VAC

功率

＜10W

＜60W

存储温度

-20至+60℃

工作温度

+5至+50℃

大湿度

%80

重量

1.4Kg

尺寸

106.4x128.4x174.5mm

106.4x128.4x184.5mm

深度

220mm

防护等级

IP40