ATC热电偶真空计
EdwardsATC系列热电偶 (ATC-E) 真空计可直接安装在 ATC-D 或 ATC-M 热电偶管上,形成紧凑、独立的传感器。
ATC-E 电子模块既能驱动中压压力计管件,也能驱动低压压力计管件。这些真空计为更高的压力提供了经济高效的测量解决方案
特点
电子模块直接安装在压力计管件上,简化了系统设计,节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电,可承受电压波动
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC,并提供故障输出指示
具有真空状态 LED 的可调整设定点可以用于制程控制和联锁,它包括数字真空状态信号,可以直观查看设定点读数
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供级别较高的抗扰性,并允许电缆长度达到 100 m
中压和低压压力计管件的选择。ATC-D 涵盖 50 到 5 x 10-2 Torr,而 ATC-M 涵盖 1 到 10-3Torr
应用
ATC热电偶真空计十分适合于需要使用简单可靠的真空计来测量更高压力的情况。
技术规格
ATC-E 电子模块 | |||
电源供给 | +13.5 至 +36 V 直流大 1 V 波动) | ||
功耗 | 0.54W(大) | ||
输出信号 | |||
工作 | 2 至 10 V 直流 | ||
故障输出 | 0 至 2 V 直流,10 至 13.5 V 直流 | ||
输出阻抗 | 0.1 欧姆 | ||
小负载 | 10 千欧 | ||
管类型选择 | |||
调节 | 通过分压计直观地调节设定点 | ||
设定点 | 开路集电极晶体管 | ||
设定点范围 | 2 至 85 全刻度电压 | ||
固定磁滞 | 12 全刻度电压 | ||
电平设定 | ±2 全刻度电压 | ||
额定 | 40 V 直流,100 mA大) | ||
温度范围 | +5 至 +60 oC | ||
存储 | 0 至 +70 oC | ||
重量 | 110 g | ||
外部接口连接器 | 8 路 FCC68/RJ45 插座 | ||
ATC-D,ATC-M 压力表管 | |||
压力范围 | |||
ATC-D | 50 至 5 x 10-2 Torr | ||
65 至 6.5 x 10-2 mbar | |||
ATC-M | 1 至 1 x 10-3 Torr | ||
1.3 至 1.3 x 10-3 mbar | |||
大过压 | 10 bar | 3.4 bar | 55 g |
内部体积 | 1 cm3 | 8 cm3 |