AIGX离子真空计

AIGX离子真空计

Edwards  AIGX紧凑型离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x10-2 到6.6 x 10-10 mbar（5x 10-2 到5 x 10-10 Torr），并且提供1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，集成了电子器件和可更换的管件。

AIGX离子真空计拥有脱气装置，具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射，AIGX成为不能有背景噪声的制程明智的选择。

特点

宽范围测量功能，可达 6.6 x 10-10 mbar(5 x 10-10 Torr)。

有两种款型可用，每一种又有三种真空联轴器变型：

“D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口；

“S”型具有增强的功能，与 Edwards 的各种控制器兼容。

与主要竞争对手相比，带电粒子制程污染减少了 30%。

自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。

在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定，从而可以在更高压力下保持输出精度。

在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。

创新性设计消除了 X 射线限制的影响。

双色 LED 提供真空计状态的本地指示。

输入电压范围宽。

电子器件极易拆卸以进行高达 200 °C 的加热。

“S”型提供有无缝的自动发射电流切换，延长了灯丝寿命。

“S”型提供有诊断输出，指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”，以帮助进行故障排除。

“S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

Edwards  AIGX紧凑型离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x10-2 到6.6 x 10-10 mbar（5x 10-2 到5 x 10-10 Torr），并且提供1 V/decade 线性输出。Edwards 的新型 AIGX真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于非常低的带电微粒辐射，AIGX成为不能有背景噪声的制程的选择。

技术规格