涡轮分子泵
Osaka涡轮分子泵使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～2400L/s的产品。
特点
无油的超真空环境
机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
可排稀有气体和腐蚀性气体
可连续排大流量气体
可工作的压力范围宽。（～10-10Pa）
应用
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
技术规格
型号 | TG50F | TG60F | TG70F | TG220F | TG240F | TG350F | TG450F | TG800F | TG1100F | TG1400F | TG2400 | ||
法兰 | 吸气口ISO-R/CF | 63 | KF40/63 | 63 | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 | ||||
排气口 | KF16 | KF16 | KF25 | KF40 | KF40 | ||||||||
排气速度 | N2（附加金属过滤网） | 49L/s | 55L/s | 65L/s | 210L/s | 240L/s | 310L/s | 430L/s | 750L/s | 1000L/s | 1300L/s | 2300L/s | |
H2 | 12L/s | 22L/s | 40L/s | 100L/s | 160L/s | 650L/s | 720L/s | 1100L/s | |||||
压缩比 | N2 | 1.4×107 | 2×107 | 1×108 | 1×108 | 5×102 | 2×103 | 1×105 | 4×102 | 4×104 | 1×104 | 4.3×103 | 1.4×103 |
极限压力 | ISO-R/CF | ＜3×10-6Pa | ＜5×10-6Pa/＜1×10-6Pa | ＜5×10-7Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa/＜5×10-7Pa | ＜1×10-6Pa | ||||||
可达气体流量 | N2（sccm） | 80 | 20 | 400 | 70 | 500 | 330/860 | 450 | 900/1500 | ||||
推荐辅助泵 | ≥50L/min | ≥25L/min | ≥80L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | ||||||||
容许辅助压力 | 1330Pa | 800Pa | 1200Pa | 260Pa | 700Pa | 330Pa | 200Pa | ||||||
重量Kg | 4.2/6 | 3.4/5.4 | 3/5 | 5.5/8 | 7.3/10.5 | 6/9 | 7/10 | 27/26 | 28/27 | 29/30 | 45/47 | ||