涡轮分子泵TG50F TG70F
更新:2025-01-24 11:08 编号:11509617 发布IP:106.122.242.243 浏览:58次- 发布企业
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- 涡轮分子泵TG50F TG60F TG70F
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详细介绍
涡轮分子泵
Osaka涡轮分子泵使用了脂润滑陶瓷轴承,实现了小型、轻量、低成本。耐外部震动,耐冲击能力强,可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部,拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ~2400L/s的产品。
特点
无油的超真空环境
机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
可排稀有气体和腐蚀性气体
可连续排大流量气体
可工作的压力范围宽。(~10-10Pa)
应用
半导体制造
电子枪排气,离子源排气
FPD制造
表面处理,表面改质
各种电子部件的制造
分析,试验装置
管球制造,光学部件制造
加速器,放射线设施,核聚变研究
热处理
研究开发
技术规格
型号 | TG50F | TG60F | TG70F | TG220F | TG240F | TG350F | TG450F | TG800F | TG1100F | TG1400F | TG2400 | ||
法兰 | 吸气口ISO-R/CF | 63 | KF40/63 | 63 | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 | ||||
排气口 | KF16 | KF16 | KF25 | KF40 | KF40 | ||||||||
排气速度 | N2(附加金属过滤网) | 49L/s | 55L/s | 65L/s | 210L/s | 240L/s | 310L/s | 430L/s | 750L/s | 1000L/s | 1300L/s | 2300L/s | |
H2 | 12L/s | 22L/s | 40L/s | 100L/s | 160L/s | 650L/s | 720L/s | 1100L/s | |||||
压缩比 | N2 | 1.4×107 | 2×107 | 1×108 | 1×108 | 5×102 | 2×103 | 1×105 | 4×102 | 4×104 | 1×104 | 4.3×103 | 1.4×103 |
极限压力 | ISO-R/CF | <3×10-6Pa | <5×10-6Pa/<1×10-6Pa | <5×10-7Pa/<1×10-7Pa | <1×10-6Pa | <1×10-6Pa/<5×10-7Pa | <1×10-6Pa | ||||||
可达气体流量 | N2(sccm) | 80 | 20 | 400 | 70 | 500 | 330/860 | 450 | 900/1500 | ||||
推荐辅助泵 | ≥50L/min | ≥25L/min | ≥80L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | ||||||||
容许辅助压力 | 1330Pa | 800Pa | 1200Pa | 260Pa | 700Pa | 330Pa | 200Pa | ||||||
重量Kg | 4.2/6 | 3.4/5.4 | 3/5 | 5.5/8 | 7.3/10.5 | 6/9 | 7/10 | 27/26 | 28/27 | 29/30 | 45/47 |
成立日期 | 2018年03月19日 | ||
法定代表人 | 石进良 | ||
注册资本 | 100 | ||
主营产品 | 主营业务:显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯 | ||
经营范围 | 五金产品批发;电气设备批发;计算机、软件及辅助设备批发;通讯及广播电视设备批发;非金属矿及制品批发(不含危险化学品和监控化学品);金属及金属矿批发(不含危险化学品和监控化学品);建材批发;化肥批发;其他化工产品批发(不含危险化学品和监控化学品);贸易代理;其他贸易经纪与代理;经营各类商品和技术的进出口(不另附进出口商品目录),但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外;纺织品、针织品及原料批发;服装批发;鞋帽批发;化妆品及卫生用品批发;厨房、卫生间用具及日用杂货批发;灯具、装饰物品批发;家用电器批发;汽车零配件零售;摩托车零配件零售;机动车燃料零售(不含成品油、车用燃气和其他危险化学品);家用视听设备零售;日用家电设备零售;计算机、软件及辅助设备零售;通信设备零售;其他电子产品零售;五金零售;灯具零售。 | ||
公司简介 | 主营业务:显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂美国PTI粉尘,日本JIS粉尘,德国DMT粉尘,美国AATCC测试用,英国SDC,JAMESH,日本测试用品,理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC60312标准的试验粉尘。同时,公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。满足国内汽车零 ... |
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