分子泵
STP-iX455
STP-iXL455
STP-iXR1606
STP-iXR2206
STP-iXA2206C
STPiX3006
STP-iXA3306C
STP-iXA4506C
EdwardsSTP集成控制器分子泵系列提供了行业的性能,并具有紧凑的尺寸集成板上控制单元。集成控制器不需要传统的机架式控制器和互连电缆。采用新开发的革命性转子设计,提高了泵送性能。这个完全集成的产品提供了简单的安装和占用空间小,所有应用程序工具的一体化解决方案。
特点
提高的生产率-的高吞吐量与更快的泵下到基本压力
体积紧凑-节省空间,便于安装
低拥有成本-低电力和公用事业消耗
免维护-经济实惠
应用
研发
计量和微观应用
Pre-clean过程
玻璃涂料系统
内联/批涂层系统
钢脱气
固态照明
半导体和FPD蚀刻系统
同步扫描电子显微镜(SEM)