BAG302离子真空计

BAG302离子真空计

INFICON  Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 ×10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302能够轻松地更换双灯丝传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485数字接口，提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计，使 BAG302为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程，并提供高价值、低拥有成本的选择。

特点

测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）

双标准长使用寿命氧化钇铱丝

一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口

带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程

用户可编程的设定点继电器

用户可编程的显示器单位：mbar、Torr 或 Pa

用户可选的发射电流自动设换范围

机械强度和坚固性

各种法兰的选择

易于更换的传感元件

合规和标准：CE、RoHS

应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

技术规格

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