排气速度
50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3种产品
■ 极限压力
DSP50：20Pa、DSP250 ⁄ 500：0.5Pa
■ 洁净排气
没有油蒸气，粒子的逆流
■ 无润滑油
无同步齿轮，也不需要润滑油
■ 携带方便
小型，轻量，抗外部干扰
■ 空冷规格
不需要冷却水
■ 初期排气时间短
大气压附近排气速度快
■ 节能
低消费电力設計
用途
・SEM，光刻
・医疗设备
・装载室，搬送室排气
・分析仪器
・加速器，离子源，电子枪的排气
・一般产业
・PVD ・R&D
规格
外观尺寸表
性能曲线
| 型 号 | DSP50 | DSP250 | DSP500 | |
| 排气速度 (L/min) | 大 | 50 | 230 | 500 |
| 开放气镇时 | 36 | 200 | 430 | |
| 极限压力 (Pa) | 通常 | 20 | 0.5 | |
| 开放气镇时 | 200 | 2.0 | ||
| 连接形式 | 吸气口 | KF16 | KF25 | KF40 |
| 排气口 | Rc1 | KF25 | ||
| 所需电力 (W) | 极限压力时 | 230 | 240 | 270 |
| 大 | 380 | 600 | ||
| 电源 | 电压（V） | 100-240 | 100-230 | |
| 频率（Hz） | 50/60 | |||
| 相数 | 单相 | |||
| 容许变动电压 | ±10% | |||
| 冷却方式 | 空冷 | |||
| 重量（kg） | 9 | 15 | 20 | |
