■ 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。
■ 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）
■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
用途
■ 半导体制造设备■ FPD制造设备
■ 太阳能电池制造设备
■ 玻璃/镜片等光学部件加工
■ 镀膜工艺
■ 加速器/宇宙环境模拟器
规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器
| 型号※1 | TGkine3800M-R | TGkine4200M-R | |
| 吸气口法兰 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
| 排气口法兰※2 | KF40 / KF50 | ||
| 排気速度 | N2 (L/s) | 3600 | 4200 |
| N2(付带金属保护网) (L/s) | 3400 | 4000 | |
| H2 (L/s) | 2700 | 2700 | |
| 大压缩比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 大气体流量※3、※4 | N2 (sccm) | 2800 | |
| Ar (sccm) | 1300 | ||
| 起动时间 | (min) | ≦12 | |
| 停止时间 | (min) | ≦14 | |
| 到达压力※5 | (Pa） | <5×10-7 | |
| (Torr） | <3.8×10-9 | ||
| 大排气口压力※6 | (Pa) | 160 | |
| (Torr） | 1.2 | ||
| 推荐前级泵 | (L/min) | ≧2000 | |
| 安装方向 | 正立或倒立安装 | ||
| 质量 | (kg) | 72 / 74 | 70 |
