全方位安装
■轻巧设计
■节能
■分子泵停止与启动时间短
■附带维护警报机能
■低振动
■无需调整
■自动校准
■可控制转子旋转速度
■大流量排气
■多种通信模式
■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器
| 吸气口法兰 | VG150 CF160 ISO-B160 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 900 |
| N2(附加金属保护网)(L/s) | 860 | |
| H2 (L/s) | 1050 | |
| 大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1.5×104 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6 /<1×10-7 |
| VG・ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9 /<7.5×10-10 | |
| 大气体流量※1 | N2 (sccm) | 3000 |
| 启动时间 | (min) | 4~5 |
| 停止时间 | (min) | 4~5 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 500 / 3.8 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧250 |
| 安装角度 | 自在 | |
| 重量 | VG･ISO-B/CF(kg) | 34/42 |
| 特殊规格 (详情请咨询销售人员。) | -耐腐蚀型 -耐反应生成物型 TG-MI -极低振动型 TG-ML -超高真空型 TG-MU -耐辐射型 TG-MR | |
※1：辅助泵的容量是1000L/min情况下的容许大流量
[ 使用周囲温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于对应的气体种类请咨询销售人员。
