KMPC7500系列光刻胶是高分辨I线光刻胶,其采用了独特的树脂结构及具有高分辨性能的感光剂,在0.75um膜厚下可以实现0.35um的分辨率。该系列光刻胶具有不同的粘度,其膜厚范围为0.5-2.0um,同时具有感光速度快、分辨率高及工艺窗口大等优点,适用于集成电路制造工艺中对分辨率要求较高的i线层,已经广泛商用于国内先进集成电路制造业企业。
KMPC6111系列光刻胶是正性厚膜I线光刻胶,主要应用于IC制程中光刻胶膜厚5um时的PAD金属钝化层和DNW的深肼离子注入层。该系列光刻胶工艺窗口大,抗蚀刻能力,抗离子注入能力和可去除性能都符合先进集成电路的需求,已广泛用于先进集成电路制造业企业。
KMPC7300系列光刻胶是高分辨I线光刻胶,在1.0um膜厚下可以实现0.5um的分辨率,该系列光刻胶具有不同粘度的产品,其膜厚范围为0.75-2.5um,同时具有感光速度快、分辨率高及工艺窗口大等优点,广泛用于先进集成电路制造业企业。