KAYAKU 正性电子束光刻胶 ZEP535A 半导体材料 电子电器用

大加速电压：125 kV ➢ 扫描频率：100 MHz ➢ 小束斑直径：≤4 nm @1nA，≤8 nm @10nA ➢小线宽：8 nm（100 m100 m），20nm（100 m100 m） ➢束流大小：50pA、100pA、300pA、500pA、700pA、1nA、3nA、5nA、10nA ➢ OLAperture：120μm ➢ 场拼接精度：≤ 10 nm（100 m100 m），≤ 25 nm（500 m500m） ➢ 对准精度：≤ 15 nm（100 m100 m），≤ 30 nm（500 m500 m） ➢大写场范围：3000 m 3000 m（高速模式） 500 m500 m（高精度模式） ➢ 样品台步进精度：0.3 nm➢ 大曝光面积：210 mm210 mm ➢ SEM 大放大倍率：500000 ➢ 样品尺寸：8 寸以下基片及不规则小片