| RIE/离子铣削高温抗蚀剂电阻器NR7-250PNR7-1000PNR7-1500PNR7-3000PNR7-6000PNR5-8000厚度0.2µm- 0.6µm0.7µm - 2.1µm1.1µm - 3.1µm2.1µm - 6.3µm5.0µm - 12.2µm5.8µm -100µm耐温性 = 150°C。在某些条件下，Futurrex NR5 和 NR7 光刻胶在 RIE 中的选择性比商用正性光刻胶高出25-33%。在加工温度 < 120°C 时，NR5 和 NR7 系列光刻胶可在 25°C 下剥离。 | 湿法蚀刻增强附着力电阻NR9-250PNR9-1000PNR9-1500PNR9-3000PNR9-6000PNR9-8000厚度0.2µm- 0.6µm0.7µm - 2.1µm1.1µm - 3.1µm2.1µm - 6.3µm5.0µm - 12.2µm6.0µm -100.0µm耐温性 = 100°C。NR9系列光刻胶具有增强的附着力，在 25°C 时易于剥离。 |
应用
在 RIE 处理和湿法蚀刻中替代正性光刻胶
特性
厚度范围：<0.1 - 120.0 µm
对波长短于 380nm 的敏感度
特征
对表面拓扑的zhuoyue线宽控制
直侧壁，适合任何薄膜厚度
