feiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP2300M 技术参数
分子泵型号 | 分子泵连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | 高启动压强hPa | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 排气口 | 氮气 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 | 氮气N2 | hPa | 氮气N2 | min | kg | |
ATH 1603 M ATH 1600 MT | 250 | 40 | 1,400 | 970 | 540 | > 1X108 | 1.7 | < 6X10–9 | 67 | 6 | 42 |
ATH 2303 M ATH 2300 MT | 250 | 40 | 2,150 | 1,800 | 1,100 | > 1X108 | 2.9 | < 6X10–9 | 67 | 8 | 68 |
ATH 2800 M ATH 2800 MT | 250 | 40 | 2,200 | 2,400 | 1,550 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 84 | 10 | 93 |
ATH 3200 M ATH 3200 MT | 320 | 40 | 2,800 | 2,500 | 1,700 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 84 | 10 | 93 |
ATP 2300 M | 320 | 40 | 1,950 | 2,050 | 1,700 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 37 | 8 | 60 |
MT 型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制. 其自带加热系统和水冷系统作用, 可以确保泵的工作温度相对恒定(高工作温度75°C), 尽可能减少化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积.