Transpector MPH 残余气体分析仪MPH200F
更新：2025-01-30 11:08 编号：20574223 发布IP：110.87.116.10 浏览：76次
- 发布企业
- 厦门良厦贸易有限公司商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第7年主体名称：厦门良厦贸易有限公司组织机构代码：91350206MA31JFKEXH
- 报价
- 请来电询价
- 关键词
- MPH200F MPH200M
- 所在地
- 中国（福建）自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号（注册地址）
- 联系电话
- 0592-6013840
- 手机
- 15396145919
- 销售
- 石进良 请说明来自顺企网，优惠更多
详细介绍
ranspectorMPH 残余气体分析仪
监控您的过程
无与伦比的性能有助于提高产量并实现长运行时间
持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector
MPH气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内的性能，有助于大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。TranspectorMPH
兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性，有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。
INFICON
发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长，制造的 RGA 拥有业内的数据采集速度、低可检测分压和小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲INFICON
Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。
功能
模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 高每点数据率
TCP/IP 以太网连接
双丝极
可现场更换电子倍增器
组合阳极、阴极和反射极丝极套件
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型号)
信噪比更高
可调换传感器和电子元件
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准
规格
| 类型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 检测器类型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 灵敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 灵敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| 小可检测分压 | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| 高传感器工作温度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| 高传感器工作温度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 丝极类型选件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 丝极类型选件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整个质量范围内） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 温度系数 | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
| 高每点数据率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
| 零冲击（@ 质量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| 大工作压力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 高烘烤温度 | °C°F | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 |
| 功率输入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 用于普通应用
(2) 用于卤素环境应用
(3) 位于峰值高度的 10%
| 成立日期 | 2018年03月19日 | ||
| 法定代表人 | 石进良 | ||
| 注册资本 | 100 | ||
| 主营产品 | 主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、表面活性剂美国PTI粉尘，日本JIS粉尘德国DMT,KSL 美国AATCC,英国SDC,JAMESH 测试用品HANOVIA 灯管6824F446 UV灯 | ||
| 经营范围 | 五金产品批发；电气设备批发；计算机、软件及辅助设备批发；通讯及广播电视设备批发；非金属矿及制品批发（不含危险化学品和监控化学品）；金属及金属矿批发（不含危险化学品和监控化学品）；建材批发；化肥批发；其他化工产品批发（不含危险化学品和监控化学品）；贸易代理；其他贸易经纪与代理；经营各类商品和技术的进出口（不另附进出口商品目录），但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外；纺织品、针织品及原料批发；服装批发；鞋帽批发；化妆品及卫生用品批发；厨房、卫生间用具及日用杂货批发；灯具、装饰物品批发；家用电器批发；汽车零配件零售；摩托车零配件零售；机动车燃料零售（不含成品油、车用燃气和其他危险化学品）；家用视听设备零售；日用家电设备零售；计算机、软件及辅助设备零售；通信设备零售；其他电子产品零售；五金零售；灯具零售。 | ||
| 公司简介 | 主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子专用材料、锐材表面活性剂美国PTI粉尘，日本JIS粉尘，德国DMT粉尘，美国AATCC测试用，英国SDC,JAMESH,日本测试用品，理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。代理德国DMT公司的符合IEC60312标准的试验粉尘。同时，公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。满足国内汽车零 ... | ||
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