品供应:
产品 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(um) | 适用范围 |
厚胶 Thick Resist | SU-8GM10xx系列 | g/h/i-Line | 负性 | 0.1um | 0.1-200 | 具有较大的高宽比,透明度高,垂直度。 |
SU-8Microchem | g/h/i-Line | 负性 | 0.5um | 0.5-650 | 具有较大的高宽比,透明度高,垂直度。 | |
SPR220 | g/h/i-Line | 正性 | 1um | 1—30 | 可用于选择性电镀电镀,深硅刻蚀等工艺。 | |
NR26-25000P | g/h/i-Line | 负性 | 20-130 | 厚度大,相对容易去胶。 | ||
电子束光刻胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(um) | 适用范围 |
SU-8GM1010 | 电子束 | 负性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可用于做高宽比较大的纳米结构。 | |
HSQ | 电子束 | 负性 | 6nm | 30nm~180nm | 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀。 | |
XR-1541-002/004/006 | ||||||
HS/16 | 电子束 | 负性 | 100nm | 350nm~810nm | 分辨率较好的光刻胶,抗刻蚀。 | |
PMMA(国产) | 电子束 | 正性 | \ | \ | 高分辨率,适用于电子束光刻工艺,较常用的电子束光刻正胶。 | |
PMMA() | 电子束 | 正性 | \ | \ | MicroChem,分子量,适用于电子束光刻工艺,较常用的电子束光刻正胶。 | |
薄胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(um) | 适用范围 |
S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 较常用的薄光刻胶,分辨率高,稳定。 | |
SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 高分辨率(0.35um)光刻胶,稳定。 | |
BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 国产0.35um光刻胶,已经在量产单位规模使用。 | |
NRD6015 | 248nm | 负性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 国产深紫外光刻胶,已经在量产单位规模使用。 | |
Lift off光刻胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(μm) | 适用范围 |
KXN5735-LO | g/h/i-Line | 负性 | 4μm | 2.2-5.2 | 负性光刻胶;倒角65-80°,使用普通正胶显影液显影。 | |
LOL2000/3000 | g/h/i-Line | / | NA | 130nm-300nm | 非感光性树脂,可以被显影液溶解,作为lift off双层胶工艺中底层胶使用。 | |
ROL-7133 | g/h/i-Line | / | 4um | 2.8-4 | 负性光刻胶,倒角75~80°,使用普通正胶显影液。 | |
光刻胶配套试剂 | 品名 | 主要成分 | 包装 | 应用 | / | / |
正胶显影液 | TMAH2.38% | 4LR/PC | 正胶显影液 | / | / | |
正胶稀释剂 | PGMEA | 4LR/PC | 稀释剂 | / | / | |
SU8显影液 | PGMEA | 4L/PC | 显影SU8光刻胶 | / | / | |
RD-HMDS | HMDS | 500ml/PC | 增粘剂 | / | / | |
OMNICOAT | 见MSDS | 500ml/PC | SU-8增粘剂 |