HSQ (Hydrogen Silsesquioxane Polymers)是⼀种半导体级纯度的氢倍半硅氧烷聚合物。作为半导体⾏业的⼀种重要材料应⽤于超⾼分辨EUV光刻、电⼦束光刻,以及作为旋涂玻璃层(SOG)应⽤于半导体⾏芯⽚表⾯平坦化层和介电层以及中间层等。
为了满⾜各位⽼师对⾼品质电⼦束光刻胶的需求,汇德信与加拿⼤AQMaterials建⽴深度合作关系,旨在为各位⽼师提供灵活且易于存储的H-SiOx(HSQ)超⾼分辨率电⼦束负胶产品。
AQM开发了⼀种⽅便且通⽤的⽅法来合成电⼦级倍半硅氧烷基(由硅和氧核,H-SiOx组成)树脂。这类聚合物/树脂是⼀款超⾼分辨率的电⼦束负胶⽤于纳⽶电⼦器件制造过程。我们的H-SiOx聚合物具有佳的分⼦量,可以在普通有机溶剂(例如甲苯和甲基异丁基酮)中制成均匀的溶液,获得⾼质量薄膜。可以获得具有⼩于10nm半周期(视光刻胶厚度)的密集图案。